半導體
擴散爐、CVD 與退火製程的溫度監控,以及晶圓表面溫度均勻性驗證。
菘啟工業(Thermoway)專業設計與製造熱電偶、熱電阻(RTD)與各式溫度量測儀器,並提供 TAF 認可之溫度校正服務,為高科技與傳統產業提供完整的溫度解決方案。
從無塵室到高溫爐,菘啟針對各產業的嚴苛製程,提供最適合的感測與量測方案。
擴散爐、CVD 與退火製程的溫度監控,以及晶圓表面溫度均勻性驗證。
高爐、轉爐、鋼液與熱處理爐的高溫量測,耐受嚴苛熱衝擊。
引擎測試、熱處理與複合材料固化,要求高可靠度與可追溯性。
反應槽、裂解爐與管線溫度監測,提供防爆認證產品。
鍋爐、汽機與排氣溫度監測,確保機組穩定與安全運轉。
擴散與燒結爐的多點溫度曲線量測,提升電池轉換效率。
MOCVD 磊晶製程的精密溫控,確保波長與良率一致。
旋窯、預熱器與冷卻機的高溫與耐磨量測。
殺菌、烘焙、發酵與冷鏈製程,採衛生級設計。
滅菌設備、冷鏈保存與實驗儀器的精準溫度量測。
高精度晶圓量測、無線監控與現場校正設備,型錄 2026 第 2 版新推出。
從感測端到顯示、控制與記錄,菘啟提供標準品與客製化設計,滿足各種溫度範圍與安裝環境。
除了自有品牌 THERMOWAY,菘啟也代理國際知名的溫度量測品牌,提供原廠產品、選型建議與在地技術支援。
菘啟建立完善的品質管理系統與溫度校正實驗室,每一支出廠的感測器都經過嚴格檢驗。
了解量測溫度範圍、安裝環境與精度要求。
建議最適感測型式、材質與尺寸,或客製設計。
自有產線生產,出廠前逐支檢測。
TAF 認可校正,提供可追溯的校正報告。
無論是標準品詢價、客製化設計或校正服務,我們的專業團隊都樂意為您服務。
標準品不夠用?製程條件特殊?我們經驗豐富的工程團隊,將針對您的嚴苛製程環境提供最佳的系統設計與改善方案。
依溫度範圍、介質與安裝條件,建議最適合的型式與材質。
特殊尺寸、多點量測、防爆或衛生級需求的客製開發。
量測不穩、壽命過短或讀值偏差的原因分析與改善。
依品質系統需求,規劃 TAF 認可的校正項目與週期。
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