Resistance Temperature Detectors
電阻式溫度計（RTD）
Pt100／Pt1000 白金測溫電阻：一般型、耐酸鹼與鐵氟龍型、食品級、高壓快速響應、冷凍環境、防爆型與衛生型，以及薄膜、陶瓷與玻璃封裝感測元件。
RESISTANCE TEMPERATURE DETECTORS
完整產品清單
共 20 項產品，依類別排列。規格以原廠資料為準，歡迎詢問客製規格。
一般型
耐酸鹼熱電阻
耐酸鹼熱電阻
能完全阻絕濕氣、腐蝕性及酸鹼性物質的熱電阻溫度計
THERMOWAY 的耐酸鹼熱電阻溫度計以雙層 Teflon 套管加強封底，可以做到完全防漏，完美隔離液體、腐蝕性物質及酸鹼介質等。主要應用在半導體化學酸洗槽。
THERMOWAY 提供客製化服務，可依照需求訂製不同的熱電阻類別及型式，多種接頭可供選擇。
- Teflon 材質具有比不銹鋼更優異的耐化學腐蝕性能
- 彈性套管可用於具有彎曲部分和內部管道的裝置
- 高精度選擇
- DIN A、1/3 DIN、1/5 DIN、1/10 DIN
- 工作溫度範圍
- -190 ~ 260 °C
- 套管材質選擇
- Teflon PTFE、PFA
- RTD 類別
- Pt100、Pt1000、Pt200
防爆型
防爆型熱電阻（RTD）
TS 工研院核發耐壓防爆、粉塵防爆合格認證
- 耐壓防爆
- Ex d IIC T6 Gb X
- 粉塵防爆
- Ex tD A21 IP67 T85 °C X
- 感溫元件
- Pt100
- 認證型號
- EX-11-A-PT100-S
- 依據標準
- CNS 3376-0、CNS 3376-1、CNS 15591-0、CNS 15591-1
- 適用周溫
- -20 ~ +40 °C
Pt100 鐵氟龍型
食品級
高壓快速反應型
冷凍環境用
冷凍環境用熱電阻（RTD）
- 品名
- 冷凍冷藏專用壁掛式熱電阻
- 保護管材質
- SUS316
- 保護管外徑
- 9.5ø
- 防爆頭規格
- 接線盒/KF/端子盤/IPS67
- 導線規格
- 熱電阻（RTD）導線
- 使用溫域
- -100℃
銅電阻 CU 10Ω
衛生級熱電阻
半導體應用 查看此類規格 →
高精確度熱電阻（RTD）晶圓
用於半導體製程，即時監測製程溫度並控制各階段環境（蝕刻、黃光微影、CVD、PVD、測試、前段及後段封裝）
- 應用
- 記錄晶圓於載入、升溫、穩態、降溫及卸載過程中的溫度；在狹窄製程窗口內提升溫度控制與均勻性；提供 SPC 系統資料；於硬體或製程開發期間最佳化製程；設備驗證與基準比較
- 監測系統
- WaferBLE 透過藍牙連接 TW-DC2301 資料收集器，即時顯示並儲存資料，提供統計、熱分布圖及折線圖
- 資料收集器 TW-DC2301
- 解析度 0.01 °C；精確度 0.01 °C；亦可量測電阻及電壓
- 平板電腦
- Microsoft Surface Pro 9，Windows 11，已預先設定系統參數
薄膜感測元件
客製化
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