Resistance Temperature Detectors

測温抵抗体（RTD）

Pt100／Pt1000 白金測温抵抗体：汎用形、耐酸・耐アルカリ・テフロン形、食品グレード（サニタリー）、高圧高速応答形、冷凍環境用、防爆形と、薄膜・セラミック・ガラス被覆センサー素子。

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RESISTANCE TEMPERATURE DETECTORS

製品一覧

全 18 製品をカテゴリー別に掲載。仕様は当社公表値です。カスタム仕様もお問い合わせください。

汎用形

RTD ウェーハ

測温抵抗体

高精度 RTD ウェーハ NEW

フォトレジスト処理装置やウェーハプローバーなど、高精度な温度計測が必要なプロセス向けに設計。ウェーハ上の RTD センサー、接着・封止材、4 線式計測が高精度と安定性の要です。

  • ロード、昇温、定常、冷却、アンロードの各段階でウェーハ温度を計測・記録
  • ウェーハプロセスの最適化と SPC へのデータ提供
  • 装置の立ち上げ・修理・改造後の再認定試験
  • 校正サービスと解析ソフトウェアを提供
温度範囲
-100 ~ 300 °C
ウェーハサイズ
6" / 8" / 12"
素子
薄膜白金、0 °C で 100 Ω／1000 Ω
抵抗温度係数
0.00385
精度
絶対 ±0.1 °C、センサー間 ±0.03 °C（0 °C で ±0.05 °C も対応）
分解能
0.01 °C
測定点数
1 ~ 160
結線
3 線式または 4 線式
コネクタ
D-Sub / Miniature
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耐酸・耐アルカリ測温抵抗体

測温抵抗体Pt100

耐酸・耐アルカリ測温抵抗体

湿気・腐食性物質・酸／アルカリを完全に遮断する測温抵抗体

THERMOWAY の耐酸・耐アルカリ測温抵抗体は二重の Teflon チューブで先端を強化封止し、完全な防漏構造で液体・腐食性物質・酸／アルカリ媒体を確実に隔離します。主に半導体の化学酸洗槽に使用されます。

THERMOWAY はカスタム製作に対応し、ご要望に応じて測温抵抗体の種類・形式を製作します。各種コネクタを選択できます。

  • Teflon（PTFE・PFA）はステンレス鋼より優れた耐薬品性を備えています
  • フレキシブルチューブは曲がり部や配管内部のある装置にも使用できます
高精度選択
DIN A、1/3 DIN、1/5 DIN、1/10 DIN
使用温度範囲
-190 ~ 260 °C
チューブ材質
Teflon PTFE、PFA
RTD 種類
Pt100、Pt1000、Pt200
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Pt100 テフロン形

食品グレード

冷凍環境用

防爆形

カスタム品

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