高精度 RTD ウェーハ
ウェーハ 測温抵抗体

高精度 RTD ウェーハ NEW

フォトレジスト処理装置やウェーハプローバーなど、高精度な温度計測が必要なプロセス向けに設計。ウェーハ上の RTD センサー、接着・封止材、4 線式計測が高精度と安定性の要です。

ロード、昇温、定常、冷却、アンロードの各段階でウェーハ温度を計測・記録

ウェーハプロセスの最適化と SPC へのデータ提供

装置の立ち上げ・修理・改造後の再認定試験

校正サービスと解析ソフトウェアを提供

仕様

温度範囲
-100 ~ 300 °C
ウェーハサイズ
6" / 8" / 12"
素子
薄膜白金、0 °C で 100 Ω/1000 Ω
抵抗温度係数
0.00385
精度
絶対 ±0.1 °C、センサー間 ±0.03 °C(0 °C で ±0.05 °C も対応)
分解能
0.01 °C
測定点数
1 ~ 160
結線
3 線式または 4 線式
コネクタ
D-Sub / Miniature

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温度範囲・取付方法・寸法をお知らせください。Thermoway のエンジニアが設計いたします。

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