仕様
- 温度範囲
- -100 ~ 300 °C
- ウェーハサイズ
- 6" / 8" / 12"
- 素子
- 薄膜白金、0 °C で 100 Ω/1000 Ω
- 抵抗温度係数
- 0.00385
- 精度
- 絶対 ±0.1 °C、センサー間 ±0.03 °C(0 °C で ±0.05 °C も対応)
- 分解能
- 0.01 °C
- 測定点数
- 1 ~ 160
- 結線
- 3 線式または 4 線式
- コネクタ
- D-Sub / Miniature
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