專為需要高精度溫度量測的製程設計,例如半導體光阻劑處理系統、晶圓探測器等設備。Wafer 上的 RTD 感測器、黏合與封裝材料,以及四線式量測,是穩定高精度的關鍵。
量測並記錄晶圓在裝載、升溫、穩定、冷卻與卸載各階段的溫度
優化晶圓工藝,為 SPC 系統提供數據
晶圓廠設備啟用、維修與升級後的重新鑑定測試
提供校正服務與應用分析軟體
告訴我們溫度範圍、安裝方式與尺寸,菘啟工程團隊將為您客製設計。
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