高精度 RTD Wafer
晶圓 熱電阻Pt100Ω

高精度 RTD Wafer NEW

專為需要高精度溫度量測的製程設計,例如半導體光阻劑處理系統、晶圓探測器等設備。Wafer 上的 RTD 感測器、黏合與封裝材料,以及四線式量測,是穩定高精度的關鍵。

量測並記錄晶圓在裝載、升溫、穩定、冷卻與卸載各階段的溫度

優化晶圓工藝,為 SPC 系統提供數據

晶圓廠設備啟用、維修與升級後的重新鑑定測試

提供校正服務與應用分析軟體

規格

溫度範圍
-100 ~ 300 °C
晶圓尺寸
6" / 8" / 12"
感測元件
薄膜白金,0 °C 時 100 Ω/1000 Ω
電阻溫度係數
0.00385
精確度
±0.1 °C 絕對精度、感測點間 ±0.03 °C(可訂製 0 °C 時 ±0.05 °C)
解析度
0.01 °C
測溫點數
1 ~ 160
接線方式
3 線式或 4 線式
接頭
D-Sub / Miniature

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