フォトレジスト処理装置やウェーハプローバーなど、高精度な温度計測が必要なプロセス向けに設計。ウェーハ上の RTD センサー、接着・封止材、4 線式計測が高精度と安定性の要です。
RTD ウェーハと組み合わせ、反応炉やプロセス装置の温度データを収集・保存・解析・表示。分解能・精度ともに 0.01 °C で、抵抗と電圧も測定できます。
病院の冷凍庫、研究室、医薬設備、サーバールーム、物流輸送などの温湿度を継続監視。データはリアルタイムでクラウドに送信されます。
負極にジルコニウムを微量添加して結晶粒界を安定化し、竹節化を防止。過酷な高温環境に耐え、IEC 60584 Class 1 の精度を維持します。
持ち運びやすく昇降温の速い現場用熱源で、各種温度センサーの現場校正に。-100 °C～1200 °C に対応し、高安定の調節計と高熱伝導合金の均熱ブロックで安定性と均一性を確保します。
| 型番 | 温度範囲 | 安定度 | 精度 | 質量 | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|
| TW-DY-GTL-D | -100 ~ 40 °C（室温 ≤ 22 °C） | ±0.1 °C | ±0.3 °C | 12 kg | 220 VAC 800 W |
| TW-DY-GTL150X | -20 ~ 150 °C | ±0.1 °C | ±0.3 °C | 8 kg | 220 VAC 450 W |
| TW-DY-GTL450X | 50 ~ 450 °C | ±0.1 °C | ±0.5 °C | 8 kg | 220 VAC 700 W |
| TW-DY-GTL1200X | 300 ~ 1200 °C | ±1.0 °C | ±2.0 °C | 8 kg | 220 VAC 1550 W |
耳式・額式体温計の校正用に設計された新型黒体炉。赤外線表面温度計にも使え、高精度で安定しています。
熱電対・測温抵抗体と組み合わせて使うデジタル表示器。プローブや熱電対メスコネクタに取り付け、さまざまな環境の温度監視に。
熱電対・測温抵抗体用のデジタル変換器で、センサー信号を 4–20 mA に変換。小形で狭い場所や振動環境に適し、M12・M16 コネクタ内に組み込めます。
温度範囲・取付方法・寸法をお知らせください。Thermoway のエンジニアが設計いたします。