多点プロファイル熱電対
半導体・太陽電池プロセス向けに、高精度・超低汚染の材料と精密級素線を使用し、偏差が小さく再現性に優れます。
- ISO 14001 環境管理と高品質管理
- ISO/IEC 17025 による高精度校正
- 標準・ミニチュア・Y 端子・金属コネクタの結線形式
- 形式
- R, S, B, K, PL II
- 型番
- TM05A ~ TM05F, TM05S (spike), TM05K
Semiconductor
半導体向け
多点プロファイル熱電対、TC ウェーハ、RTD ウェーハ。WaferBLE 監視・解析システムでウェーハ温度分布を計測。
TC ウェーハ
温度の安定時間と均一性の計測、設定値の校正、負荷の影響評価、中心から端までの熱応力確認に。カスタム製作いたします。
- 高精度・高再現性、強固な測温接点
- 認定校正報告書と修理相談
- WaferBLE 監視・解析システム
- 温度範囲
- -100 ~ 1300 °C
- ウェーハサイズ
- 2" ~ 12"、カスタムサイズ可
- 形式
- K, R, S, T, PL II
- 絶縁材
- PFA, Ceramic fiber sleeving, Quartz micro tube
- 型番
- SX-41, SX-51 (vacuum), SX-41-BLE, SX-51-BLE
- コネクタ
- Miniature, U-Shape, D-Sub
TC ウェーハの使用温度と精度
| 形式 | 線径 | 最高温度 | 精度 |
|---|---|---|---|
| R, S | 0.127 mm | 1200 °C | ±0.6 °C or 0.1 % |
| R, S | 0.254 mm | 1300 °C | ±0.6 °C or 0.1 % |
| K | 0.127 / 0.254 mm | 700 °C | ±1.1 °C or 0.4 % |
| T | 0.127 / 0.254 mm | 400 °C | ±0.5 °C or 0.1 % |
| PL II | 0.254 mm | 1200 °C | ±1.1 °C or 0.4 % |
RTD ウェーハ
ウェーハサイズ、温度範囲、測定点数、コネクタ、校正要件を指定できます。BLE 版はタブレットや PC でリアルタイム監視。
- ウェーハサイズ
- 6" / 8" / 12"
- 素子
- Pt100 / Pt1000, 4-wire
- 型番
- SX-42, SX-52, SX-42-BLE, SX-52-BLE
- ケーブル
- 標準 L 500 mm、延長可
SEMICONDUCTOR
製品一覧
全 17 製品をカテゴリー別に掲載。仕様は当社公表値です。カスタム仕様もお問い合わせください。
RTD ウェーハ
高精度測温抵抗体（RTD）ウェーハ
- 半導体製造において、プロセス温度をリアルタイムで監視し、各工程（エッチング、フォトリソグラフィ、CVD、PVD、テスト、前工程・後工程パッケージング）の環境を制御するために使用
- 用途
- ロード、昇温、定常、降温、アンロードの各段階でウェーハ温度を記録；狭いプロセスウィンドウ内での温度制御と均一性の向上；SPC システムへのデータ提供；ハードウェアまたはプロセス開発時のプロセス最適化；装置の認定とベンチマーク
- 監視システム
- WaferBLE は Bluetooth で TW-DC2301 データコレクタに接続し、統計、ヒートマップ、折れ線グラフでデータをリアルタイムに表示・保存
- データコレクタ TW-DC2301
- 分解能 0.01 °C；精度 0.01 °C；抵抗および電圧も測定可能
その他の仕様
- タブレット
- Microsoft Surface Pro 9、Windows 11、システムパラメータ設定済み
ウェーハ熱電対
T/C ウェーハ
- 熱電対ウェーハ（TC Wafer）は半導体製造プロセスで使用され、エッチング、フォトリソグラフィ、CVD、PVD、テスト、前工程・後工程パッケージングなど各工程において、リアルタイムのプロセス監視と環境温度制御を実現します。高度なカスタマイズ製品で、充実したカスタマーサポートを提供します。
- 温度範囲
- -100°C~1300°C
- 高精度かつ再利用可能
- 優れた耐熱衝撃性
その他の仕様
- 堅牢な接点
- 認証済み校正報告書
- 校正サービスおよびメンテナンス相談
- 用途
- 温度安定時間および温度均一性の測定、温度設定精度の校正、負荷容量の影響評価、ウェーハ温度分布の測定、ウェーハ中心から端部までの熱応力の検査
- 超高精度線材も対応可能
- 温度監視システム
- WaferBLE が Bluetooth でデータコレクタ TW-DC2301 と接続し、リアルタイム温度データを伝送。記録の表示・保存および統計を提供
- データコレクタ TW-DC2301
- 分解能 0.01 °C、精度 0.01 °C。抵抗および電圧も測定可能
- WaferBLE
- データの取得、レポート、解析、可視化。ヒートマップおよび折れ線グラフツール
- タブレット
- 設定済み Microsoft Surface Pro 9（Windows 11 搭載）
熱電対ウェーハおよび測定システム
熱電対ウェーハ測定点
ウェーハ温度センサー・システム
ウェーハ温度センサ＆システム
- ウェーハ温度センサ＆システム
- 熱電対ウェーハ
- 半導体製造におけるエッチング、フォトリソグラフィ、CVD、PVD、テスト、前工程・後工程パッケージングのリアルタイムプロセス監視に使用；高度なカスタマイズに対応
- 特長
- -100°C～1300°C の測定範囲；高精度かつ再利用可能；高い耐熱衝撃性；堅牢な測温接点；認定校正報告書付き；校正サービスおよびメンテナンス相談
- 用途
- 温度安定時間と均一性の測定；設定精度の校正；負荷容量の影響評価；ウェーハ温度分布のマッピング；中心から端部までの熱応力の検査
その他の仕様
- 超高精度線材も対応可能
- 温度監視システム
- WaferBLE は Bluetooth でデータコレクタ TW-DC2301（分解能 0.01°C、精度 0.01°C、抵抗および電圧も測定可能）に接続し、ヒートマップや折れ線グラフでデータを表示・保存・分析；Windows 11 搭載の設定済み Microsoft Surface Pro 9 タブレット付き
- 測温抵抗体（RTD）ウェーハ
- フォトレジストトラックシステム、ウェーハプローバ、その他の工場設備向けの高精度ウェーハ温度測定；ロード、昇温、定常、降温、アンロードの各段階でウェーハ温度を記録；温度制御と均一性の向上；SPC 入力；プロセス最適化；装置認定
プロファイル熱電対
DOWNLOADS · ダウンロード
関連資料のダウンロード
-
PDF をダウンロード
ウェハ温度センサー・温度モニタリングシステム 2026
TC ウェハ、RTD ウェハ、WaferBLE 温度モニタリングシステム、TW-DC2301 データコレクタの仕様、校正サービスと発注情報。
PDF · 2.3 MB
CATALOG
その他の製品カテゴリー
New Products
新製品
製品を見る →
Thermocouples
熱電対
製品を見る →
Resistance Temperature Detectors
測温抵抗体（RTD）
製品を見る →
Explosion-proof
防爆形熱電対
製品を見る →
MI Sheathed Thermocouples
シース熱電対
製品を見る →
Thermocouple Wire
熱電対線
製品を見る →
Connectors, Heads & Fittings
コネクタ・端子箱・付属品
製品を見る →
Protection Tubes
保護管
製品を見る →
Extreme High Temperature
超高温熱電対
製品を見る →
Temperature Transmitters
温度変換器
製品を見る →
INOR · Sweden
INOR 取扱製品
製品を見る →
OMEGA · USA
OMEGA 取扱製品
製品を見る →
Surface Temperature
表面温度計測
製品を見る →
Reference Standards & Welder
標準器・溶接機
製品を見る →
Dial Thermometers
バイメタル・隔測温度計
製品を見る →
Instruments
記録計・校正器・温度計
製品を見る →
Heaters
ヒーター・発熱体
製品を見る →
Tools & Equipment
工具・設備
製品を見る →
Special Applications
特殊用途
製品を見る →ぴったりの形式が見つかりませんか？
温度範囲・取付方法・寸法をお知らせください。Thermoway のエンジニアが設計いたします。