ラベル：測温抵抗体

高精度 RTD ウェーハ NEW

フォトレジスト処理装置やウェーハプローバーなど、高精度な温度計測が必要なプロセス向けに設計。ウェーハ上の RTD センサー、接着・封止材、4 線式計測が高精度と安定性の要です。

ロード、昇温、定常、冷却、アンロードの各段階でウェーハ温度を計測・記録

ウェーハプロセスの最適化と SPC へのデータ提供

装置の立ち上げ・修理・改造後の再認定試験

耐酸・耐アルカリ測温抵抗体

湿気・腐食性物質・酸／アルカリを完全に遮断する測温抵抗体

THERMOWAY の耐酸・耐アルカリ測温抵抗体は二重の Teflon チューブで先端を強化封止し、完全な防漏構造で液体・腐食性物質・酸／アルカリ媒体を確実に隔離します。主に半導体の化学酸洗槽に使用されます。

THERMOWAY はカスタム製作に対応し、ご要望に応じて測温抵抗体の種類・形式を製作します。各種コネクタを選択できます。

Teflon（PTFE・PFA）はステンレス鋼より優れた耐薬品性を備えています

Pt100 汎用

名称

汎用測温抵抗体（RTD）

保護管材質

SUS306、SUS314

外径（OD）

4.8Ø（ご要望に応じて）

導線

測温抵抗体（RTD）用導線

ねじ付き Pt100

保護管材質

SUS316、SUS304

外径（OD）

3.2ø（ご要望に応じて）

ねじ

ご要望に応じて

導線

測温抵抗体（RTD）用導線

防爆形測温抵抗体（RTD）

工業技術研究院（ITRI）発行の台湾 TS 耐圧防爆・粉じん防爆型式検定合格

耐圧防爆

Ex d IIC T6 Gb X

粉じん防爆

Ex tD A21 IP67 T85 °C X

測温素子

Pt100

Pt100 テフロン（形式1）

品名

Pt100 耐酸・耐アルカリ形測温抵抗体

保護管材質

SUS316、SUS304（テフロン保護管被覆）

導線仕様

測温抵抗体（RTD）導線

使用環境

強酸・強アルカリ環境

Pt100 テフロン（形式2）

品名

Pt100 耐酸・耐アルカリ形測温抵抗体

保護管材質

SUS316、SUS304（テフロン保護管被覆）

導線仕様

測温抵抗体（RTD）導線

使用環境

酸、アルカリ

Pt100 テフロン（形式3）

品名

Pt100 耐酸・耐アルカリ形測温抵抗体

保護管材質

SUS316、SUS304（テフロン保護管被覆）

導線仕様

測温抵抗体（RTD）用導線

使用環境

酸、アルカリ

食品グレード測温抵抗体（RTD）

品名

食品業界専用測温抵抗体

保護管材質

316SS/316L

保護管外径

ご要望に応じて製作

ねじ

ご要望に応じて製作

高圧・高速応答測温抵抗体（RTD）

海水温度測定用測温抵抗体（RTD）

品名

海水専用測温抵抗体温度計

保護管材質

MONEL

保護管外径

ご要望に応じて製作

導線仕様

PVC 導線 / 3W

冷凍環境用測温抵抗体（RTD）

品名

冷凍・冷蔵専用壁掛け形測温抵抗体

保護管材質

SUS316

保護管外径

9.5ø

防爆端子箱

端子箱/KF/端子台/IPS67

測温抵抗体（RTD）CU 10Ω

薄膜測温抵抗体（RTD）素子

セラミック測温抵抗体（RTD）素子（形式1）

セラミック測温抵抗体（RTD）素子（形式2）

ガラス被覆測温抵抗体（RTD）素子（形式1）

ガラス被覆測温抵抗体素子（形式2）

INOR 温度変換器 APAQ 130

APAQ 130 温度変換器シリーズは、熱電対用の APAQ 130TC と、Pt100・Pt1000 用の APAQ 130RTD で構成されます。高い信頼性と性能を備え、堅牢な設計により周囲温度、振動、湿気、EMC 干渉による測定への影響を最小限に抑えます。スマートフォンやタブレットから NFC で簡単にワイヤレス設定でき、高価な設定ツールや固定ワークステーションは不要です。

INOR APAQ C130 RTD

Pt100 および Pt1000 用、ワイヤレス通信対応デジタル 2 線式温度変換器

APAQ C130 は高い信頼性と優れた性能を備えた最新の温度変換器です。堅牢な設計により、周囲温度、振動、湿気、EMC 干渉による測定への影響を最小限に抑えます

スマートフォンやタブレットから NFC で簡単にワイヤレス設定でき、高価な設定ツールや固定ワークステーションは不要

INOR APAQ R130 RTD

INOR 温度変換器 APAQ R130 RTD

Pt100 および Pt1000 用、ワイヤレス通信対応デジタル 2 線式温度変換器

APAQ R130RTD は高い信頼性と優れた性能を備えた最新の温度変換器です。堅牢な設計により、周囲温度、振動、湿気、EMC 干渉による測定への影響を最小限に抑えます

スマートフォンやタブレットから NFC で簡単にワイヤレス設定でき、高価な設定ツールや固定ワークステーションは不要

INOR IPAQ C202

型式

INOR 温度変換器 IPAQ C202

Pt100 センサ用、使いやすいデジタル 2 線式温度変換器。過酷な条件に対応する堅牢設計

入力

Pt100、3 線式接続

測定範囲は PC で設定、校正不要

INOR IPAQ C310 RTD

絶縁型プログラマブル 2 線式温度変換器、測温抵抗体（RTD）および抵抗入力用（Pt10～Pt1000、Ni100、Ni120、Ni1000）

高精度、長期安定性、低温度ドリフト、ガルバニック絶縁、センサ誤差および系統誤差補正

外部電源なしで PC（ConSoft）、NFC または Bluetooth により設定可能。Bluetooth には ICON-BT が必要

稼働時間カウンタ、10 g 振動試験済みの堅牢設計、パスワード保護、変更履歴記録

INOR OEM202P

OEM202P は温度センサ、システム、機械に組み込むデジタル温度変換器で、低レベルのセンサ出力を増幅信号に変換

Pt100 および Pt1000、2・3・4 線式接続に対応

はんだパッドでプロセスおよびセンサと接続

INOR の新しい温度変換器プラットフォームを採用

INOR OEM202R

OEM202R

自社機器に組み込むデジタル温度変換器

OEM202R は温度センサ、システム、機械に組み込むデジタル温度変換器で、低信号レベルの出力を増幅信号に変換します。Pt100 および Pt1000、2・3・4 線式接続に対応し、コンパクト設計でほとんどの用途やセンサに適合。はんだパッドでプロセスおよびセンサと接続します。

実績のある技術

INOR の最新温度変換器プラットフォームを採用し、高精度かつ高信頼性。プロセス制御を向上させる多数のスマート機能を搭載。

ご要望に応じてカスタマイズ

標準で高性能かつ多機能。形状や PTC、NTC、PtX 測定の有効化など、物理的・技術的な調整が可能。

INOR OEM202W

OEM202W

お客様のセンサ、システム、機械に組み込むデジタル温度変換器で、低レベルのセンサ出力を増幅信号に変換

Pt100 および Pt1000、2・3・4 線式接続

はんだパッド接続

センサ誤差および系統誤差補正

INOR TRA-C10

衛生要件があり設置スペースが限られる産業現場で、気体・液体・蒸気の温度を測定する衛生仕様のコンパクトセンサー

プロセス範囲

-50 °C～+200 °C

プロセス接続

フランジ DN25/38、ISO 2852 クランプ

本体材質

ステンレス鋼 1.4404

INOR TRA-C20

-50 °C～+200 °C の気体、液体、蒸気、固体用のコンパクトなねじ込み式温度センサー。特に設置スペースが限られる場所に最適

本体

ステンレス鋼 1.4404/316L、G1/2 プロセスねじ

感温素子

DIN EN 60751 準拠 薄膜 Pt100 測温抵抗体（RTD）

電気接続

バルブコネクタ EN 175301-803

INOR TRA-C30

ねじ込み式コンパクトセンサ

気体・液体・蒸気・固体の温度を -50 °C～+200 °C で測定；設置スペースが限られた産業用途に特に適しています。材質はステンレス鋼 1.4404

316L、G1/2 ねじでプロセス接続。センサ素子：Pt100 薄膜測温抵抗体（RTD）、DIN EN 60751 準拠；電気接続は M12 コネクタ。温度変換器内蔵タイプもあり。

INOR TRA-C40

気体・液体・蒸気・固体用コンパクト差込形温度センサ

測定範囲

-30 °C～+350 °C

設置スペースが限られた産業用途に最適

本体

ステンレス鋼 1.4404

INOR TRA-C50

-50 °C～+120 °C の気体、液体、蒸気、固体に対応するコンパクトなねじ込み式センサで、狭い産業スペースに最適

本体

ステンレス鋼 1.4404（316L）、ねじ込み式プロセス接続

検出素子

DIN EN 60751 準拠の薄膜 Pt100 測温抵抗体（RTD）

電気接続

M12 コネクタ